Диффузионная печь является одним из важных процессных оборудований в передней части производственных линий полупроводников, используемых для таких процессов, как диффузия, окисление, отжигание, сплавление и спекание в таких отраслях промышленности, как крупномасштабные интегральные схемы, дискретные устройства, электроэлектроника, оптоэлектронные устройства и оптические волокна. Максимальная рабочая температура продукта может достигать 1350°C. Корпус печи конструирован с низкой теплоемкостью и включает вертикальные или горизонтальные нагревательные элементы. Огреватели могут быть настроены в соответствии с конкретными потребностями в обработке.
| Название продукта | Порт | Корпус печи |
| Классификационная температура (°C) | 1500 | 1500 |
| Рабочая температура (°C) | 1350 год | 1350 год |
| Плотность (кг/м³) | 450. | 350 |
| 24-часовое теплоизоляционное постоянное сокращение линии (%) | -1.51400℃ | -1.51400℃ |
| Теплопроводность W/(м·к) | ||
| 400℃ | 0,08 | 0,08 |
| 600℃ | 0.12 | 0.12 |
| 800℃ | 0.14 | 0.14 |
| 1000℃ | 0.22 | 0.22 |
| Химический состав (%) | ||
| Al₂O₃+SiO₂ | 98. | 98. |
| Fe₂O₃ | < 0,5 | < 0,5 |
LiveChatX
Send Email
WhatsApp